پلازما كېسىش ماشىنىسى قۇرۇلمىسى

ICP ئۈسكۈنىلىرى ئاساسلىقى - ۋاكۇئۇملۇق ئۆي ، كارىۋات ئۆيى ، گاز بىلەن تەمىنلەش سىستېمىسى ۋە ۋاكۇئۇم سىستېمىسىدىن ئىبارەت تۆت قىسىمدىن تەركىب تاپقان.

(1) ئالدى - ۋاكۇئۇم ئۆي

ئالدىن - ۋاكۇئۇملۇق ئۆينىڭ رولى ، كارىۋاتنىڭ بەلگىلەنگەن ۋاكۇئۇم سەۋىيىسىدە ساقلىنىشىغا ، سىرتقى مۇھىتنىڭ (چاڭ-توزان ، سۇ ھورىغا ئوخشاش) تەسىرىگە ئۇچرىماسلىقىغا كاپالەتلىك قىلىش ھەمدە خەتەرلىك ئۆيلەرنى پاكىز ئۆيدىن ئايرىپ چىقىش. ئۇ مۇقاۋا ، كونتروللىغۇچ ، يەتكۈزۈش مېخانىزمى ، ئايرىۋېتىش ئىشىكى قاتارلىقلاردىن تەركىب تاپقان.

(2) ئېتىش ئۆيى

ئېتىش ئۆيى ICP قىرىش ئۈسكۈنىسىنىڭ يادرولۇق قۇرۇلمىسى. ئۇ يىرىڭلىشىش نىسبىتى ، قىچىشىشنىڭ تىكلىكى ۋە قوپاللىقىغا بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدۇ. ئېتىش ئۆيىنىڭ ئاساسلىق تەركىبلىرى: ئۈستۈنكى ئېلېكترود ، ICP رادىئو چاستوتا بىرلىكى ، RF رادىئو چاستوتىسى بىرلىكى ، تۆۋەن ئېلېكترود سىستېمىسى ، تېمپېراتۇرىنى كونترول قىلىش سىستېمىسى قاتارلىقلار.

(3) گاز بىلەن تەمىنلەش سىستېمىسى

گاز بىلەن تەمىنلەش سىستېمىسى ھەر خىل يېقىلغۇ گازلىرىنى ئېتىش ئۆيىگە يەتكۈزۈش ، ھەمدە بېسىم كونتروللىغۇچ (PC) ۋە ئاممىۋى ئېقىش كونتروللىغۇچ (MFC) ئارقىلىق گازنىڭ ئېقىش سۈرئىتىنى ۋە ئېقىشىنى توغرا كونترول قىلىش. گاز بىلەن تەمىنلەش سىستېمىسى گاز مەنبەسى بوتۇلكىسى ، گاز يەتكۈزۈش تۇرۇبىسى ، كونترول سىستېمىسى ، ئارىلاشما ئورۇن قاتارلىقلاردىن تەركىب تاپىدۇ.

(4) ۋاكۇئۇم سىستېمىسى
ئىككى ۋاكۇئۇم سىستېمىسى بار ، بىرى ئالدىنقى - ۋاكۇئۇملۇق كامېرغا ، يەنە بىرى كارىۋات ئۆيىگە. ئالدىن - ۋاكۇئۇملۇق ئۆي مېخانىكىلىق پومپا ئارقىلىق تارقاقلاشتۇرۇلدى. پەقەت - ۋاكۇئۇملۇق كامېردىكى ۋاكۇئۇم دەرىجىسى بېكىتىلگەن قىممەتكە يەتكەندىلا ، ئاندىن ئايرىپ ئىشىكنى ئاچقىلى بولىدۇ. كارىۋاتتىكى ۋاكۇئۇمنى مېخانىكىلىق پومپا ۋە مولېكۇلا پومپىسى تەمىنلەيدۇ. كاۋاكخانىدىكى رېئاكسىيەدىن ھاسىل بولغان گازلارمۇ ۋاكۇئۇم سىستېمىسى تەرىپىدىن تارقاقلاشتۇرۇلىدۇ.